9812DX低频噪声测试系统

新型号 9812DX 作为 9812B 和 9812D 的增强版，为半导体行业先进工艺研发、器件建模和高端电路设计提供了更加完整而又高效的低频噪声测试及分析解决方案，可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。

9812DX 作为单一完整的低频噪声测试系统，支持全面的半导 体器件种类在多种测试条件下的高精度噪声测试，提供了很高的晶圆级噪声测试精度和测试带宽，该型号的测试精度较之前的 9812D 提高了一个数量级，最低测试噪声电流精度低至 10-27A2 /Hz，其测试能力覆盖非常广泛，是市面少有的从 10Ω 到 10MΩ 可同时覆盖高阻抗器件和低阻抗器件测试能力的设备。

针对半导体先进工艺制程节点特别是 FinFET 工艺下对低频噪声测试需求“爆炸式”增长的挑战，通过软硬件创新设计， 9812DX 不但使典型噪声测试速度提高至一个偏置条件仅需 10s，还将最高测试电压提高到 200V 从而使得适用应用场景更 加广泛。该系统可在短时间内获得更加精确可信的测试数据， 另外还可以通过并行测试架构解决方案以及协同 FS-Pro 半导体参数测试系统等方式大幅度的提高了测试效率和吞吐量。

目前，9812DX 已被众多半导体代工厂所采用，继 9812B/D后成为低频噪声测试领域新一代的“黄金标准”，被用于 28nm, 14nm, 10nm, 7nm 和 5nm 等各工艺节点的先进工艺研发和高端集成电路设计。

应用范围：

已被众多半导体公司所采用的标准测试系统

产品历史超过十年

功能：

1/f噪声(闪烁噪声)测试与特性分析、RTN(随机电报噪声)测试与特性分析

任意待测类型，晶圆级高精度和测试带宽

宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

系统架构:

系统体系架构经过行业认可并不断完善，可靠性好和精度高

支持并行测试：

经过业界知名客户严苛验证并认可的在高精度下高测试吞吐率和并行测试能力

宽量程： 最大器件端电压和电流 : 200V, 200mA

高精度： 最高 DC 电流精度 : 10pA、 系统噪声电流精度 : <10-27A2 /Hz

测试速度：典型 1/f 噪声测试速度可达 10 秒 /bias

抗阻范围：阻抗匹配范围 : 10Ω-10 MΩ Gate/Base

电阻多达 16 个选择

Drain/Collector 电阻多达 15 个选择

系统参数： 电压放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/Hz(@5kHz)

电流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ Hz(@5kHz)

宽带电流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@5KHz)

高精度电流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)

可编程偏置滤波器 、ESD 保护

内置 16 位 DSA

支持多台并行测试

软件规格：

9812DX 系列内置 NoiseProPlus 测量软件具有强大的低频噪声测试和分析功能，该软件具有下列主要功能 :

• 软件界面友好易操作，同时满足测试控制、图形显示和数据分析需求

• 支持 1/f 噪声和 RTN 噪声测试 ，具有专业的数据分析功能

• 测试结果可导出供用户后续分析研究，测试数据可直接导入

• 建模软件 BSIMProPlus 和 MeQLab 进行噪声模型提取和特性分析

• 支持多种模式、多种器件在不同偏置下的手动/自动测试

• 支持驱动 Keysight/Keithley 等各型号主流测试仪

• 支持驱动 Cascade/SUSS/MPI 等各型号 Prober 实现手动及全自动测试

产品应用：

先进半导体制造工艺如 FinFET/FD-SOI/GaN 等研发过程中的质量和工艺评估

芯片制造过程中的特定工艺品质监控

半导体器件和电路的低频噪声特性测试、噪声数据分析

半导体器件 SPICE 模型库开发

高端集成电路设计和验证