吉时利 2450 源表在半导体分立器件 I-V 特性测试方案
方案特点
丰富的内置元器件库(双端口、三端口、MOSFET、BJT等),可以根据测试要求选择所需要的待测件类型;
四象限输出和测量功能,可以在正负电压、正负电流之间进行无缝切换和扫描;
测试和计算过程由软件自动执行,能够显示数据和曲线,节省了大量的时间;
精准稳定的探针台,针座分辨率可高达0.7um,显微镜放大倍数最高可达x195倍;
高达500fA电流输出分辨率和10fA测量分辨率,可以满足半导体器件微小电信号控制和测量要求。
测试功能
双端口、三端口器件直流参数测量;
I-V,I-T,V-T,I-R,V-R扫描测试;
曲线绘制,原始数据导出,结果保存。
系统结构
系统主要由一台双通道源表或两台单通道源表(SMU)、连接线或探针台,及上位机软件构成。以三端口MOSFET或BJT器件为例,共需要以下设备:两台吉时利2450源表、三同轴或香蕉头连接电缆、夹具或探针台。
上位机软件与源表(SMU)的连接方式如下图所示,可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一个接口进行连接。
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