MEMS(微机电系统]是一种基于CMOS工艺的集成技术。它将传感器/微处理器/信号处理与控制集于一体，有效缩小了系统的体积，是一种先进的加工技术。

　　MEMS测试难点:

　　1.泄露电流是MEMS的必测项目。泄漏电流是指MENS在非工作状态时的电流值，其值大小将决定系统能耗的大小。MEMS系统的泄漏电流一般都小至pA量级，因此在测试泄漏电流时，需要带前量放大器的高精度的源表设备。

　　2.电容是MEMS的必测项。电容式微传感器是MEMS系统中常用的传感器，它负责接收外界的信号并转换为电学信号。这个电容值很小，一般为pF量级。测试设备所能施加的交流频率和电容测量的精度是需要考虑的因素。

　　3.电阻是MEMS的必测项。电阻式传感器在MEMS系统中非常常见其阻值的变化可以表征外界信号的变化。MEMS系统中的电阳范围较大，因此测试设备的电压电流动态范围也必须足够大。

　　4.MEMES工艺监控也是MEMS测试的重要内容。MEMS使用CMOS工艺进行加工制造，为使系统性能稳定，各步骤工艺必须严格监测。比如载流子浓度，载流子迁移率都能都是需要监测的参数。这需要使用能进行此类测试的电学设备。

　　测试方案:

　　测试设备:4200A-SCS，SMU模块+CVU模块，TH2851阻抗分析仪

　　测试载台:高功率探针台/测试夹具

　　TH2851系列阻抗分析仪也彻底超越了国外同类仪器120MHz的频率瓶颈；解决了国外同类仪器只能分析、无法单独测试的缺陷；中英文操作界面也解决了国外仪器仅有英文界面的尴尬；采用单测和分析两种界面，让测试更简单。