研究背景

在5G通信、柔性显示、新能源电池等前沿领域，薄膜材料的性能直接决定了产品的可靠性。其中，体积电阻率和表面电阻是衡量薄膜绝缘性能的核心指标，但超薄厚度的测试却充满挑战：

传统设备电极覆盖不足，信号不稳定；

微米级厚度易引发边缘短路；

不同规格样品需频繁更换夹具，效率低下等。

 二、解决方案：薄膜产品测试 

（一）测试对象

有一家专注于电子专用材料研发的高新技术企业，近期需要对其新型薄膜产品进行关键电学性能测试：测试薄膜产品的体积电阻率、表面电阻。

（二）测试要求

检测项目：体积电阻率、表面电阻

样品规格：10μm/14μm/40μm薄膜

（三）解决方案

针对客户超薄薄膜材料的电学性能检测需求，需完成体积电阻率（ρv）及表面电阻（Rs）两项核心指标测试。

1.体积电阻率（ρv）作为表征材料整体绝缘性能的核心参数，其数值直接决定了电子器件的漏电流与能耗。当测试超薄样品时，需要使用大电极均匀加压，避免局部击穿。

2.表面电阻（Rs）作为表征材料表面导电特性的核心参数，其量值直接决定防静电、电磁屏蔽等性能。在微米级薄膜材料测试中，易引发因电极接触不良导致的数据波动。

为兼顾测试精度与效率，推荐采用TH2690系列飞安表/静电计/高阻计+TH26090表面电阻率/体电阻率测试夹具的组合方案，其核心优势如下：

(一)、单机全功能

TH2690系列通过高度集成化设计，实现了"单机全功能测试"，彻底摆脱对上位机的依赖，为微弱信号测量带来革命性便捷体验。

(二)、0.01fA电流分辨率

TH2690系列其最小电流分辨率0.01fA(10-17A)，可满足大部分场景的微弱电流测量需求，大大解决薄膜材料信号漂移问题。

(三)、数据分析处理能力

TH2690系列内置±1000V电压源，支持1mV步进式精密调节，可实现从1V到1000V宽范围电压的精确施加与动态控制，满足高阻材料测试的电压精度要求。

(四)、多电极快速切换

在10μm级超薄薄膜的体积电阻率测试中，传统小电极存在两大技术瓶颈：覆盖失效+短路风险，同惠电子针对性开发了TH26090表面电阻率/体电阻率测试夹具适用被测件尺寸：直径 50mm ~ 125mm，厚度：10μm ~ 10mm，确保有效接触面积，大大降低短路发生率。

(五)、数据分析处理能力

TH2690系列支持将测量数据以.CSV 格式保存，同时可转换为曲线图、直方图等图形化形式。这种设计使用户既能获取精确数值，又能直观观察数据分布规律或变化趋势，为后续分析提供多维视角。

曲线图

直方图

（四）经验与总结

薄膜材料是柔性电子、新能源等领域的核心基础，技术突破推动产业升级。同惠电子依托三十余年精密测试技术积累，以TH2690系列高精度仪器，为超薄、柔性、高阻薄膜提供检测方案，助力全流程品控。