TH2690测试绝缘薄膜液滴电荷量
使用 TH2690测试绝缘薄膜材料上液滴的两点间电荷量的具体操作如下:

图1.1.薄膜材料
一、测试前准备
1. 仪器与环境准备
仪器预热:开机后预热≥60 分钟,确保电子元件稳定(电荷测量对温漂敏感,预热不足会导致精度偏差)。
环境控制:
温度:23℃±5℃,避免温度波动导致液滴蒸发或绝缘材料漏电变化;
湿度:30%~80% RH(无凝结),潮湿会降低绝缘薄膜电阻,产生漏电流,建议搭配温湿度传感器实时监控;
抗干扰:测试区域远离高压设备、强磁场,避免外部电场导致容性耦合噪声;同时避免强光直射,防止绝缘材料或液滴产生光生电荷。
2. 样品与探针准备
绝缘薄膜处理:
用无水乙醇清洁薄膜表面,去除油污、灰尘,避免污染物形成 “漏电通道”;
固定薄膜于绝缘支架),确保薄膜平整,无褶皱(褶皱会导致液滴分布不均,电荷测量偏差)。
图1.2材料制样
液滴准备:
液滴体积需固定(如 5μL),避免体积变化导致接触面积差异;建议用微量移液管滴加,滴加后静置 30 秒,待液滴稳定。
探针选择与清洁:
选用金属探针(如钨针)+ 绝缘手柄,探针尖端打磨光滑(避免划伤薄膜),测试前用异丙醇擦拭探针,去除残留电荷;
探针间距固定(如 5mm),可通过探针夹具定位,确保每次测试两点距离一致(间距变化会影响电荷分布,导致数据重复性差)。

图1.3简易探针示意
二、硬件连接
TH2690 电荷测量需通过三同轴电缆实现低噪声传输(避免普通电缆的摩擦起电噪声),具体连接如下
连接部件 | 操作细节 |
三同轴电缆 | 一端接仪器前面板 “电流表输入连接器”(A 端),另一端通过转接头连接测试探针(需确保屏蔽层接触良好)。 |
公共端(Common)接地 | 用随附香蕉插头将仪器 “公共端” 与机箱地(Ground)短接,避免公共端浮地产生 ±500V 危险电压,同时消除地电位差导致的漏电流。 |
屏蔽盒(可选但推荐) | 将绝缘薄膜、液滴、探针置于金属屏蔽盒内,屏蔽盒接地,减少外部电场干扰;屏蔽盒门需配联锁电路(若涉及高压,此处电荷测量虽无高压,但可进一步降低噪声。 |
探针与测试点连接 | 探针 1 接触液滴边缘一点,探针 2 接触液滴另一边缘点(两点需在液滴内,避免接触薄膜空白区域),接触时轻压探针,确保稳定接触(避免探针晃动导致电荷转移)。 |
三、仪器参数设定
进入 TH2690操作界面,按以下步骤配置参数
1. 切换至电荷测量模式
按前面板Func 键,在弹出的功能菜单中选择 “静电仪”(char 模式);
确认主界面显示 “电荷(Q)” 参数(单位:C/nC/fC),若未显示,通过 “设定 - 波形设定” 勾选 “电荷” 显示项。
2. 核心参数设定(进入 “设定 - 测量设定 - 静电仪” 界面)

图1.4 仪器设置界面
参数项 | 设定建议 | 依据与注意事项 |
电荷量程 | 根据液滴电荷量估计选择:- 若为 nC 级(常见液滴电荷):选 “2nC”“20nC” 或 “200nC”;- 若为 μC 级:选 “2μC”;- 不确定时选 “2~20nC”(自动切换量程)。 | 电荷量程表,量程过大会导致分辨率不足(如 2μC 量程测 2nC 电荷,分辨率仅 1pC),过小会触发超限放电。 |
测试速度 | 10~50PLC(1PLC=20ms,即 200ms~1s / 次) | 速度过快(<5PLC)会增加噪声,过慢(>50PLC)会导致液滴蒸发;建议 10PLC,平衡精度与效率。 |
自动放电 | 打开(ON) | 当电荷量达到 “放电等级” 时自动复位,避免量程超限(如液滴电荷突然增加导致测量溢出)。 |
放电等级 | 比所选量程低 1 级(如量程 20nC,放电等级选 2nC) | 避免过早放电导致数据中断,同时防止电荷积累损坏仪器。 |
滤波模式 | 滑动滤波(取样数 5~10) | 滑动滤波可平滑瞬时噪声(如探针接触时的电荷波动),取样数不宜过大(否则响应变慢)。 |
3. 测量配置优化(进入 “设定 - 测量配置” 界面)
MATH 功能:若需扣除薄膜背景电荷(空白薄膜的残余电荷),选择 “偏差计算”((data-std)/std),其中 “std” 设为空白薄膜的电荷测量值(提前测 3 次取平均值),消除背景干扰。
波形显示:进入 “设定 - 波形设定”,选择 “曲线图”,X 轴设 “时间(t/s)”,Y 轴设 “电荷(Q/C)”,打开 “自动标尺”,实时观察电荷变化曲线(判断数据是否稳定)。
四、零点校正:消除仪器失调电荷
电荷测量对零点漂移敏感,需在测试前执行清零操作:
保持探针悬空(不接触任何物体),确保测量回路开路;
按前面板ZERO 键,主界面底部显示 “ZERO” 标志,仪器记录当前失调电荷值(如 0.05fA 对应的电荷漂移);
等待 30 秒,确认零点稳定后,再次按 ZERO 键(或保持开启),后续测量会自动扣除失调电荷。
五、样品测试:实时测量与数据记录

图1.5测试液滴
1. 启动测量
确认探针已稳定接触液滴的两个测试点(无晃动);
按前面板Run/Stop 键(绿灯亮起),仪器开始连续测量,主界面显示实时电荷量(如 “+1.23nC”),曲线图同步显示电荷随时间的变化(若曲线波动≤±0.05nC,说明数据稳定)。
2. 数据记录与重复性验证
单次测量:待数据稳定后(通常 10~20 秒),记录主界面显示的电荷值;
重复性测试:同一液滴重复测量 3 次,若 3 次数据偏差≤1%,取平均值作为最终结果(若偏差过大,检查探针接触是否稳定、液滴是否蒸发);
数据保存:进入 “系统 - 系统环境”,打开 “数据保存”,测试数据以 CSV 格式保存至 USB 闪存,便于后续分析(包含时间、电荷量、温度、湿度等参数)。
3. 异常处理
若显示 “OVERFLOW”(超限):检查量程是否过小,或液滴电荷过大,需切换至更大量程(如从 20nC 切换至 200nC);
若数据波动剧烈:检查屏蔽盒是否接地、探针是否清洁、环境是否有气流(气流会导致液滴晃动),排除干扰后重新测试;
若出现错误代码(如 Errorcode 3:V 板自检错误):进入 “工具 - 错误信息” 查看原因,按提示重启仪器或联系同惠售后。
安全放电与仪器维护
1.停止测量与放电:
按 Run/Stop 键停止测量(绿灯熄灭);
若自动放电未开启,需手动短接两个探针(或用接地导线接触液滴),释放残余电荷(避免下次测试受残留电荷影响)。
2.仪器关闭:
按前面板Source 键(若误开启电压源,需先关闭),再长按电源键关机;
拔下三同轴电缆和 USB 闪存(拔 USB 前等待 10 秒,避免数据损坏)。
3.样品与探针清洁:
用无尘布蘸异丙醇擦拭探针,去除液滴残留;
绝缘薄膜如需重复测试,需重新清洁并滴加新液滴(避免残留电荷干扰)。
注意事项
绝缘材料漏电控制:测试过程中禁止用手接触探针或薄膜(人体静电会转移至样品),建议佩戴防静电手环并接地;
容性耦合消除:三同轴电缆需固定(避免晃动产生摩擦起电噪声,),电缆长度≤1.5m(过长会增加分布电容,影响电荷测量);
校准周期:仪器校准周期为 1 年,若长期未校准,需联系同惠售后重新计量(确保电荷测量精度);
安全风险:虽电荷测量无高压,但公共端未接地时可能存在 ±500V 电压测试中严禁触摸公共端、探针等金属部件。











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