吉时利2601B数字源表电阻测量方法

吉时利2601B是一款单通道系统数字源表（SMU），采用四象限源/测量一体化设计，具备6½位分辨率，电阻测量范围覆盖500nΩ至40MΩ。其将精密电流源与高精度电压表集成于单一仪器中，通过R=V/I原理实现电阻测量，配合四线Kelvin连接技术，能够有效消除引线电阻和接触电阻的影响，在半导体器件表征、材料电学测试等领域具有广泛应用。

一、直接电阻测量法

2601B的前面板内置了便捷的欧姆测量功能。将待测器件（DUT）连接至源表后，按MODE键选择“Ohms”测量功能，仪器会自动配置为1mA电流源并显示电阻读数。

如需自定义测量条件，可按以下步骤操作：按SRC键选择源功能（电流或电压），根据预估电阻值设定输出源电平；按LIMIT键设置限压或限流值，电压限制应高于待测电阻两端的最大预期电压，电流限制应不低于流过电阻的最大预期电流；按MEAS键切换显示电压或电流，确保AUTO量程已开启；再次按MEAS键直至显示欧姆读数，开启输出后即可读取结果。

二、四线法（Kelvin连接）测量

对于低阻值测量，引线电阻和接触电阻会严重影响精度，此时应采用四线法。四线法将Force HI/Sense HI连接至样品一端，Force LO/Sense LO连接至另一端，Sense线必须连接在Force线内侧且接触点独立。2601B支持四线远程感应模式，可通过接触检查功能验证Sense引线是否正确连接。

源电流的设定需根据样品预估电阻选择：阻值较高（MΩ级）时选μA或nA级，阻值较低（Ω级）时选mA级。为获得**精度，建议使用尽可能低的固定测量量程。对于低阻样品，可启用偏移补偿功能，通过正反向电流测量取平均，消除热电动势误差。

三、远程编程控制

2601B支持TSP（测试脚本处理）技术，可在仪器内部运行完整测试程序，实现高速自动化测量。典型电阻测量编程示例如下：

text

smua.reset()smua.source.func = smua.OUTPUT_DCAMPSsmua.source.rangei = 10e-3smua.source.leveli = 10e-3smua.source.limitv = 10smua.sense = smua.SENSE_REMOTEsmua.measure.autorangev = smua.AUTORANGE_ONsmua.source.output = smua.OUTPUT_ONprint(smua.measure.r())smua.source.output = smua.OUTPUT_OFF

该示例设置10mA电流源、10V电压限制、四线感应模式和自动电压量程。

结语

吉时利2601B通过直接欧姆功能与四线Kelvin连接的结合，为电阻测量提供了从快速简便到高精度可选的完整方案。在实际应用中，应根据待测电阻范围合理选择测量方法和量程，对低阻测量务必采用四线法并关注接触质量，以获得准确可靠的测量结果。